Y5T188 激光器减薄，与台阶仪厚度检测原理

边发射激光器的制造，是先在衬底上一层层的成长资料，长出有源层，长出P型半导体，长触摸层。

成长好资料

之后去刻蚀结构，刻好波导槽，再然后镀膜金属层做正电极，再再然后翻面镀膜负电极。

衬底，要一次次做工艺，不能太薄，要不就很简单裂。

可做完之后，假如直接镀膜负电极，那么，激光器这个PN结的电流通道就会很长。激光器的等效电阻会很大

假如衬底很薄，激光器的等效电阻很低

厚的衬底，才不简单裂开，便利进行后续的成长、刻蚀、镀膜等等。

薄的衬底，有很好的功能，PN结内阻更小，散热通道更短。

所以，一般的做法是，用厚衬底来做工艺流程，做完之后再对衬底进行减薄。取得更好的功能和散热

衬底减薄，一般用机械方法，便是金刚石砂轮打磨，一点点的磨薄。

薄膜之后，再用更小的颗粒去抛光。让厚度更均匀。可但是，在微米量级，其实仍是会有高凹凸低的凸凹现象。

厚度检测也很重要，看减薄做的行不行。厚度检测里常用的一款设备叫“台阶仪”，介绍一种电感式台阶仪的原理。

台阶仪与待检测面的高度固定，也便是下图三个线圈与台面的高度不变，中间触针，和触针顶端的铁芯，是能够凹凸弹动的

便是个变压器原理，左边沟通电，电磁改换会让右边感应出沟通电压。

触针划过衬底，衬底的凹凸改变，会导致右侧的两组线圈所感应电压不同。

一般测验△U的改变，就能知道被测物的厚度描摹。