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Y5T188 激光器减薄,与台阶仪厚度检测原理

Y5T188 激光器减薄,与台阶仪厚度检测原理

边发射激光器的制造,是先在衬底上一层层的成长资料,长出有源层,长出P型半导体,长触摸层。

成长好资料

之后去刻蚀结构,刻好波导槽,再然后镀膜金属层做正电极,再再然后翻面镀膜负电极。

衬底,要一次次做工艺,不能太薄,要不就很简单裂。

可做完之后,假如直接镀膜负电极,那么,激光器这个PN结的电流通道就会很长。激光器的等效电阻会很大

假如衬底很薄,激光器的等效电阻很低

厚的衬底,才不简单裂开,便利进行后续的成长、刻蚀、镀膜等等。

薄的衬底,有很好的功能,PN结内阻更小,散热通道更短。

所以,一般的做法是,用厚衬底来做工艺流程,做完之后再对衬底进行减薄。取得更好的功能和散热

衬底减薄,一般用机械方法,便是金刚石砂轮打磨,一点点的磨薄。

薄膜之后,再用更小的颗粒去抛光。让厚度更均匀。可但是,在微米量级,其实仍是会有高凹凸低的凸凹现象。

厚度检测也很重要,看减薄做的行不行。厚度检测里常用的一款设备叫“台阶仪”,介绍一种电感式台阶仪的原理。

台阶仪与待检测面的高度固定,也便是下图三个线圈与台面的高度不变,中间触针,和触针顶端的铁芯,是能够凹凸弹动的

便是个变压器原理,左边沟通电,电磁改换会让右边感应出沟通电压。

触针划过衬底,衬底的凹凸改变,会导致右侧的两组线圈所感应电压不同。

一般测验△U的改变,就能知道被测物的厚度描摹。


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