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检测中心光学轮廓仪基本原理检测中心光学轮廓仪基本原理 1. 笔直扫描（VSI） 利用光的干与原理即光程差持平时即发生干与条纹，经过马达驱动然后改变镜头与待测样品之间的距离带动干与条纹的移动，到达对样品扫描的意图。终究得到样品的三维描摹，外表粗糙度等特征。一般用于丈量凹凸差值180nm 以上样品（如图2） 。 2.相位偏移扫描（PSI） 利用光的干与原理即光程差持平时即发生干与条纹，经过马达驱动然后改变镜头与待测样品之间的距离，然后发生相位偏移，带动干与条纹的移动，到达对样品扫描的意图。终究得到样品的三维描摹，外表粗糙度等特征。一般用于丈量凹凸差值130nm 以下样品，丈量超润滑平面等。对环境的要求很高，包括震动，噪声等。 本文由轮廓仪整理 |
