日本粗糙度仪传感器性能测验

选用德国蔡司Axioskop40显微镜对实验制备的上电极和下电极进行调查；选用美国布鲁克Dektak XT台阶仪对电极及湿敏膜厚度进行丈量；选用德国耐驰STA449F3热分析仪对湿敏膜固化温度打开研讨。

传感器测验选用日本东荣公司出产的WLS-3型湿度发生器发生标准湿度环境；选用北京瑞普公司出产的HZ2790型LCR数字电桥对传感器的输出特性进行了测验；选用自制盐箱（NaCl饱满盐溶液盐箱内空气相对湿度75.5 % RH和LiCl饱满盐溶液盐箱内空气相对湿度12 % RH，20 ℃时）对传感器的响应时刻进行了测验。