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非接触式3D微观轮廓形状测量机
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Opt-scope 是具有纳米级分辨率,非接触式,可高效测量整个工件表面形状的新型三维测量机。可立体地捕捉工件表面的特性,满足解析的需要。 【产品特点】 ■快速完成测量 Opt-scope 利用白光干涉原理,使用非接触方式可快速完成整个工件表面粗糙度和轮廓形状的测量,与触针式三维表面测量机测量时,X.Y 轴还需不停移动相比,测量速度更快,用时更短。 ■可对机械加工面的表面性状进行非接触三维测量和评价 利用东京精密独特的算法,使我们能通过白光干涉显微镜更清晰地获取机械加工面的形状。可对应高研磨表面微细形状的测量以及汽车零部件等机械加工部品表面的测量,测量对象大幅扩大。 ■适用于大型工件的表面粗糙度·表面缺陷和微小轮廓的测量 最大测量高度为200mm。即使安装固定夹具或测量大型工件,也有足够的测量高度。应用多样,可用于轴承等滑动面的三维粗糙度/ 划伤/ 磨损的分析。砂轮和硬质合金刀片尖端的形状评价,半导体硅片表面的划伤的检测。 【丰富应用】
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