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非接触式表面形状测量装置PF-

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非接触式是以光线代替接触式触针。包括共焦方式和白色干涉方式等多种不同原理的方式。此外,也有仅将接触式检测器改为光传感器型或显微镜类型等多种形态。在此,以基恩士的形状测量激光显微系统VK-X 系列为例,对共焦方式进行说明。


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